1. Introduction
1.1 TEM이란?
TEM(투과전자현미경)은 평광한 전자선을 사용하여 시료를 투과시킨 전자선을 전자렌즈로 확대하여 관찰하는 전자현미경이다. 직접배율의 범위는 통상 100배에서 100만배 가량으로 관찰하고자 하는 시편의 파장보다 파장이 더 작은 가속전자를 발생시켜 전자 렌즈계를 거쳐
1980년대부터 집합조직을 방위분포함수(ODF, orientation distribution function)으로 정 량적으로 표현하기 시작했고, 현재 집합조직을 연구하는 대부분의 연구는 집합조직을 X-선 회절법이나 EBSD(electron backscattered diffraction)로 측정하여 방위분포함수로 계산하 고 있다.
3. 실험 장치 및 방법
3-1. SEM(Scanning
1) Will a proton and an electron attract or repel each other? Why?
⇒ attract. 전자는 (-)전하를 띠고 양성자는 (+)전하를 가지기 때문이다.
2) What did the Rutherford expriment demonstrate?
⇒ 금으로 된 얇은 막에 α입자(전자가 제거된 He원자)를 충돌시켰다. 그리고 형광 막을 써서
α입자들이 얼마나 산란되
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
Ⅰ. 개요
스웨덴의 지역혁신체제는 기술혁신 집적지역(innovative cluster)을 중심으로 발전하여 왔다. 따라서 자동차산업, 철강 및 신소재산업, 정보통신산업, 생명공학산업 등 다수의 세계적 수준의 기술혁신 집적지역이 존재하고 있다. 성공적인 기술혁신 집적지역은 모두 지역을 거점으로 성장하여 왔
electron beam)을 표본의 표면에 주사한다. 주사된 전자선이 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자는 검파기(detector)에 의해 수집되어 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관(cathod ray tube)에 상을 형성한다. 주사전자현미경의 특징은 초점이 높은 심도
electronic conduction, to catalysis, to
biological recognition in nanoscale systems.
While microfabrication techniques such as photolithography, microcontact
printing, micromachining, and microwriting can produce patterns as small
as 0.1 mm, production of sub-100-nm structures still poses a significant
challenge.
At present, such high-resolution fabrication can be ac
1. 서 론
지난 수십 년간 컴퓨터의 속도는 2년마다 2배씩 증가하여 기가 헤르츠 영역에 도달했다. 현재 컴퓨터 프로세서용 물질로 사용되고 있는 실리콘 반도체는 고주파수 영역에서 작동할 때 상당한 열이 발상하며 이로 인해 안정적으로 작동할 수 있는 속도가 크게 제한을 받는다. 소형화 역시 실리
1. 실험 목적
1회, 5회, 10회의 각 reflow 횟수에 따른 계면의 IMC분석 및 전단실험을 통한 강도의 변 화를 측정하여 비교한다.
2. 이론
1) Solder Reflow
그림 1. Reflow 장비
출처 : blog.naver.com/reballing?Redirect=Log&logNo=80024357425
Solder Reflow 는 기판에 놓인 solder 를 고온을 가해 녹여서 기판에 고정시키는
현미경 column의 맨 위쪽에 위치
필라멘트, shield, anode등으로 구성된 전자총과 집광렌즈로 구성
- Tungsten ( Hair Pin 형), LaB6형, Field Emission (FE) 형 등의 전자총 (Electron Gun)을 장착하여 발생된 전자선을 여러 단계에 걸쳐서 가속관에서 가속시킴
specimen manipulation system
시편은 Cu로 만들어진 grid에 부착